2023-12-06
【Europapress】Spirox y Southport lanzan el primer sistema de inspección de defectos de SiC no destructivo de la industria
Spirox Corporation (TWSE: 3055) y su filial, Southport Corporation, Ianzan el primer sistema de inspección de defectos no destructivo JadeSiC-NK de la industria. JadeSiC-NK emplea tecnología óptica no lineal de última generación para el escaneo de oblea completa de sustratos de SiC para identificar defectos mortales. Sustituye el actual método de grabado con KOH (hidróxido de potasio), destructivo y de alto coste, lo que conduce a mayores rendimientos de producción y mejoras en los procesos. Calculando en base a la necesidad de grabar dos sustratos para cada lingote de SiC en el proceso KOH, JadeSic-NK puede ahorrar aproximadamente 7,68 millones de dólares en costes anuales incurridos debido a pérdidas de grabado para un fabricante de sustratos con 100 hornos de crecimiento de cristales.
La calidad de los materiales del sustrato determina la fiabilidad y el rendimiento de los chips de SiC. Sin embargo, el número de defectos y las distribuciones del cristal del sustrato sólo pueden inspeccionarse mediante muestreo con interpolación matemática cuando se utiliza el método destructivo de grabado con KOH. Si los fabricantes de sustratos de Sic pueden implementar una inspección no destructiva de los materiales en el proceso de fabricación, no solo reducirán el uso de soluciones químicas nocivas asociadas con el grabado con KOH, sino que también permitirán la detección temprana de defectos.
Para más detalles, consulte el siguiente informe:
https://reurl.cc/q0xqon
La calidad de los materiales del sustrato determina la fiabilidad y el rendimiento de los chips de SiC. Sin embargo, el número de defectos y las distribuciones del cristal del sustrato sólo pueden inspeccionarse mediante muestreo con interpolación matemática cuando se utiliza el método destructivo de grabado con KOH. Si los fabricantes de sustratos de Sic pueden implementar una inspección no destructiva de los materiales en el proceso de fabricación, no solo reducirán el uso de soluciones químicas nocivas asociadas con el grabado con KOH, sino que también permitirán la detección temprana de defectos.
Para más detalles, consulte el siguiente informe:
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