2023-11-29
【壹苹果】蔚華科擕手南方科技搶攻化合物半導體商機 首創非破壞性缺陷檢測系統
半导体测试解决方案专业品牌蔚华科技（TWSE: 3055）携手旗下数字光学品牌南方科技，共同推出业界首创的JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统，采用先进非线性光学技术对SiC基板进行全片扫描，找出基板内部的致命性晶体缺陷，用以取代现行高成本的破坏性KOH（氢氧化钾）蚀刻检测方式，可提升产量并有助于改善制程。若以每个SiC晶锭需蚀刻2片基板来计算，JadeSiC-NK可为具有100个长晶炉的基板厂省下每年2.5亿因蚀刻而损耗的成本。
需求迅速爆发 SiC基板与组件供不应求 唯KOH是高成本痛点
在现今环境永续意识抬头的全球趋势下，许多国家已制定电动车的阶段性政策目标，SiC芯片需求迅速爆发，尤其用于生产电动汽车使用的耐高温高压SiC功率半导体组件，供给量远远不及需求。
化合物半导体的基板材料质量决定下游芯片的可靠度及性能优劣，但SiC长晶速度较慢，且基板晶体缺陷只能以破坏性的KOH蚀刻方式进行抽样检测，使得SiC芯片制程成本居高不下，目前全球主要基板厂皆积极投资产能扩充并改善制程，加速产业布局以抢攻市占率。基板厂与组件厂若能在制程中对材料做全面非破坏性检测，不仅可减少原本KOH蚀刻的有害化学溶液使用量，更能及早发现问题，进而有效改善制程、提升良率，进而在化合物半导体市场中展现绝佳优势。
JadeSiC-NK以非线性光学检测取代现行破坏性KOH蚀刻 可降低成本提高产能
南方科技总经理王嘉业表示，目前市场上的光学技术只能检测表面非晶体缺陷，JadeSiC-NK系统采用先进的非线性光学技术，可对全片基板表面到特定深度进行扫描，反应晶体结构信息，提供晶体缺陷密度及其分布状况，让客户有效掌握基板质量，未来生产出的组件质量与效能也能更加稳定。
王嘉业进一步说明，JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统专注在稳定且有效地找出基板中的致命性晶体缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相较现行将SiC晶锭切片后取上下二片基板进行检测的KOH蚀刻方式，可大幅节省检测时间与基板成本。以每个长晶炉每月产出四个晶锭为例，采用JadeSiC-NK后，每个晶锭可省下二片基板成本（每片6吋基板以800美元计），因此可推估一个长晶炉每年可省下台币250万元，若是具有100个长晶炉的基板厂，一年即可省下台币2.5亿元！此外，JadeSiC-NK也可针对同一个晶锭进行100%的晶圆检查，进行详细的晶锭分析和批次追踨分析，协助客户在高技术门坎的化合物半导体市场加速制程及产量优化。
详见以下报导-壹苹果：
https://tw.nextapple.com/finance/20231128/EC2066B7CF6A717BE5FBF299D66CCA31
需求迅速爆发 SiC基板与组件供不应求 唯KOH是高成本痛点
在现今环境永续意识抬头的全球趋势下，许多国家已制定电动车的阶段性政策目标，SiC芯片需求迅速爆发，尤其用于生产电动汽车使用的耐高温高压SiC功率半导体组件，供给量远远不及需求。
化合物半导体的基板材料质量决定下游芯片的可靠度及性能优劣，但SiC长晶速度较慢，且基板晶体缺陷只能以破坏性的KOH蚀刻方式进行抽样检测，使得SiC芯片制程成本居高不下，目前全球主要基板厂皆积极投资产能扩充并改善制程，加速产业布局以抢攻市占率。基板厂与组件厂若能在制程中对材料做全面非破坏性检测，不仅可减少原本KOH蚀刻的有害化学溶液使用量，更能及早发现问题，进而有效改善制程、提升良率，进而在化合物半导体市场中展现绝佳优势。
JadeSiC-NK以非线性光学检测取代现行破坏性KOH蚀刻 可降低成本提高产能
南方科技总经理王嘉业表示，目前市场上的光学技术只能检测表面非晶体缺陷，JadeSiC-NK系统采用先进的非线性光学技术，可对全片基板表面到特定深度进行扫描，反应晶体结构信息，提供晶体缺陷密度及其分布状况，让客户有效掌握基板质量，未来生产出的组件质量与效能也能更加稳定。
王嘉业进一步说明，JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统专注在稳定且有效地找出基板中的致命性晶体缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相较现行将SiC晶锭切片后取上下二片基板进行检测的KOH蚀刻方式，可大幅节省检测时间与基板成本。以每个长晶炉每月产出四个晶锭为例，采用JadeSiC-NK后，每个晶锭可省下二片基板成本（每片6吋基板以800美元计），因此可推估一个长晶炉每年可省下台币250万元，若是具有100个长晶炉的基板厂，一年即可省下台币2.5亿元！此外，JadeSiC-NK也可针对同一个晶锭进行100%的晶圆检查，进行详细的晶锭分析和批次追踨分析，协助客户在高技术门坎的化合物半导体市场加速制程及产量优化。
详见以下报导-壹苹果：
https://tw.nextapple.com/finance/20231128/EC2066B7CF6A717BE5FBF299D66CCA31
